三大分析工具助攻 晶圓表面粗糙度量測精準

作者: 張齊如
2021 年 03 月 07 日
不同產品與製程,對粗糙度要求相異甚大,將影響後續鍍膜的附著性。量測粗糙度藉以改善製程有其必要,該如何選擇到位的分析工具呢?
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